آزمایشگاه لایه نازک

آزمایشگاه لایه نازک:
در این آزمایشگاه رشد لایه های فلزی، نیمه هادی، دی الکتریک روی زیر لایه های (Substrate) متناظر مثل فلز، نیمه هادی و دی الکتریک و بطور متناوب صورت می پذیرد. ادوات موجود در شکلهای زیر نشان داده میشود.
  
 




شکل (1): کوره خلا (تا 6- 10 میلی بار و دمای 1700 درجه)
 






شکل (2): کوره استوانه ای (تا دمای 1000 درجه)






 
شکل (3): دستگاه لایه نشانی باریکه الکترونی و پلاسما

 





شکل (4): آون خلا (تا 2- 10 میلی بار و دمای 200 درجه)

 





شکل (5): لایه نشانی چرخشی